生產與檢測設備最佳解決方案

IC Industry - 暗崩檢測系列 (Wafer Inspection SERIES)

竑騰集中全部力量 不斷研發及提升技能,提供完整的技術與設備給客戶,並針對客戶的發展趨勢,提供客製化的設備開發與設計、檢測效能提升和設備整合應用等即時而完整的解決方案。全力提供給客戶最優良的產品。

若您對我們的機台與設備有興趣,歡迎請聯繫我們!

WR1000
型號: WAFER 暗崩檢查機 (WR1000)
適用範圍: wafer 切割後切割道產品內部龜裂檢測
機台功能: ♦ 機台使用水鏡方式檢測
♦ 機台檢測 FOV 1.6x1.2mm, 單一畫素 2.5μm
♦ 使用紅外線光學系統搭配 10 倍率物鏡檢測
♦ 具有離線檢查與改辨功能
♦ 條碼開檔對應 map 圖檔檢查
♦ 具備 12 英吋轉 8 英吋, wafer ring 作業治具
WI1100
型號: LED 晶圓檢測機 (WI1100 / WI2000)
檢測相機: 1200萬畫素彩色 CCD
光源系統: 明視野, 暗視野與背光, 高料度 LED 光源
機台功能: ♦ 適合 LED 雷射二極體及影像測試器等晶圓檢測
♦ 使用者除了可以自行編輯檢測規格外, 還可以自行設定瑕疵判斷邏輯
♦ 提供完整的離線功能
♦ 可以選配物鏡 (電動鼻輪可以配置 5 組鏡頭)
   2.0  倍率解析能 1.57μm
   2.5  倍率解析能 1.26μm
   5.0  倍率解析能 0.63μm
   10   倍率解析能 0.32μm
   20   倍率解析能 0.16μm
   50   倍率解析能 0.06μm
  100  倍率解析能 0.03μm